사업공고
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(재공고) 반도체-디스플레이 공통장비 핵심기술개발사업 반도체장비개발과제 세부주관기관(업체) 모집공고

 
 
  2012년도 산업융합원천기술개발사업이 1/20(금)자로 공고되었습니다. 이에 반도체연구조합에서는 회원사의
의견을 수렴하여, 별도로 사업계획 수립 및 참여를 준비 할 계획입니다. 이에 연구조합과 함께 참여할 의사가
있는 기업에서는 별도의 참여의향서로 신청해 주시기 바랍니다. 단, 과제별 신청기업이 복수일 경우 별도의
선정절차에 따라, 하나의 기업만 선정할 수밖에 없음을 이해하시기 바랍니다.
 
추진과제 :
1. 1x/2x nm급 반도체용 저온 무기물 증착을 위한 PEALD 장비 기술개발
2. 1x/2x nm급 반도체 공정용 극순간 열처리 장비 개발
 
본 사업은 각 과제별 반도체 장비개발 - 디스플레이 장비개발 - 원천기술개발 3개의 세부과제로 구성되는
대단위 컨소시움 과제로, 각 반도체장비개발에 대해 개발의사가 있는 기업에서는 2월 23일(목) 참여의향서를
연구조합에 제출해주시고, 만약 과제별 신청기업이 2개이상일 경우 선정을 위하여, 아래 일정에 따라
발표평가가 있사오니, 양지바랍니다.

* 원천기술개발, 디스플레이 장비개발은 제외함. 반도체장비개발 과제만 해당
 
 o 담당 : 전재민 책임 (02-570-5261, jjm@cosar.or.kr)
             이정란 선임 (02-570-5213, leejr@ksia.or.kr)
 
 o 관련일정 
    - ~2/23(목)  : 기관별 참여의향서 제출 (e-mail 신청)  
    - 2/24(금)    : 발표자료 접수 (e-mail 신청)   
    - 2/27(월)    : 발표평가회 개최 (과제별 신청기업이 2개 이상일 경우)   
    - 2/28(화) ~ : 평가결과 통보 * 첨부 : 기관별 참여의향서 및 발표회 진행사항
 
 

 

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