- 미래소자원천기술
- 첨단센서 2025 포럼
- 상생협력 지원
- 반도체 산업기반 강화사업
- 환경안전사업
- 인적자원개발협의체
- 지능형반도체 전문인력양성사업
- 반도체성장펀드
- 파워반도체상용화사업
- 글로벌R&BD 플랫폼
파워반도체상용화사업
POWER SEMICONDUCTOR COMMERCIALIZATION PROJECT
파워반도체 정의
파워반도체
전력변환, 전력변압, 전력안정, 전력분배 및 전력제어 등을 수행하는데 사용되는 반도체


파워반도체상용화사업
추진 배경 : 친환경 및 에너지 효율성을 강조하는 글로벌 트렌드에 맞춰 기술개발을 통한 국내 파워반도체 산업의 경쟁력 확보와 미래성장동력 발굴
전력의 효율적 활용 + 전력 손실 최소화 중요 →
전력 소비의 핵심 부품 “고효율 파워반도체”
하이브리드, 전기자동차 수요 증가 →
저전력·친환경·고성능 파워반도체 비중 증가
사물인터넷, 웨어러블 등 전자기기의 저전력 요구 증가 →
1회 충전 사용시간 증대 요구
주력 산업의 고부가가치화 견인

차세대 시장 선점의 핵심 요소

사업 목표
파워반도체 핵심원천기술 개발 및 상용화 지원을 통한 글로벌 파워반도체 산업 경쟁력 확보
중점 추진사항
- 실리콘 및 차세대 화합물 기반 파워반도체 소자·모듈 개발
- IoT용 저전력 고효율 Power IC 개발
- 6인치 기반 SiC 파워반도체 일괄공정 구축 및 서비스 지원
사업 기간
2017년 7월 ~ 2023년 12월 (총 78개월)
총 사업비
836.53억원
구분 | 국비 | 지방비 | 민자 | 합계 |
---|---|---|---|---|
기술개발분야 | 424 | - | 140 | 564 |
기반구축분야 | 119.22 | 153.31 | - | 272.53 |
합계 | 543.22 | 153.31 | 140 | 836.53 |
추진 체계


SiC 연구플랫폼 소개
SiC 연구플랫폼 :국내 최초 6인치 기반 SiC 소자 제조 일괄공정서비스 지원 FAB
위치
부산테크노파크 장전(부산대 內) 및 장안(기장군)단지 내

장비명 | 제조국 | 제조사 | 모델명 | 장비명 | 제조국 | 제조사 | 모델명 |
---|---|---|---|---|---|---|---|
고온이온 주입기 |
일본 | ULVAC | IH-860PSIC | 마이크로 스코프 |
일본 | OLYMPUS | DSX510-ASU |
고온어닐링기 | 일본 | TYK | Ailesic-2000 | 면저항측정기 | 대한민국 | AiT | CMT-SR2000N |
웻스테이션 (세정) |
대한민국 | ULTECH | Aquachem-C | 퍼니스(D-Poly) | 대한민국 | P&T | PF-D63 |
퍼니스(RTP) | 미국 | AG Associates | HEAT8108 | 퍼니스(SiO2) | 일본 | TYK | Ailesic-1500 |
건식식각기 | 일본 | SAMCO | RIE-800iPC | 에셔 | 미국 | Gasonic | PEP3510 |
스텝퍼 | 일본 | Nikon | NSR-2005i10C | 플라즈마박막증착기 | 미국 | AMAT | P5000 |
스퍼터 | 미국 | AMAT | Centura5200 | 후면스퍼터 | 대한민국 | LAT | LIS-150 |
건식식각기 (금속용) |
미국 | Lam Research | TCP9600SE | 두께측정기 | 독일 | FRT | MICROPROF-200 |
입자계수기 | 미국 | KLA Tencor | Candela CS10 | 시디샘 | 일본 | HITACHI | S-8820 |
전계방출주시현미경 | 체코 | TESCAN | S8000 | 후면그라인더 | 일본 | DISCO | DGP-8761 |
웻스테이션 (신화막) |
대한민국 | ULTECH | Aquachem-D | 테스터 | 미국 | Keysight | B1505 |
웻스테이션 (유기물) |
대한민국 | ULTECH | Aquachem-E | 프로브 | 미국 | Cascade | Tesla2000 |
트랙 | 대한민국 | SVS | MSX-1000 | 웻스테이션 (금속) |
대한민국 | ULTECH | Aquachem-H |
박막두께 측정기 |
대한민국 | Ellipso Tech | Elli-SEU | 레이저어닐 | 일본 | SUMITOMO | SWA-20US-M |