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파워반도체상용화사업
POWER SEMICONDUCTOR COMMERCIALIZATION PROJECT

파워반도체 정의

파워반도체

전력변환, 전력변압, 전력안정, 전력분배 및 전력제어 등을 수행하는데 사용되는 반도체


파워반도체상용화사업

추진 배경 : 친환경 및 에너지 효율성을 강조하는 글로벌 트렌드에 맞춰 기술개발을 통한 국내 파워반도체 산업의 경쟁력 확보와 미래성장동력 발굴

전력의 효율적 활용 + 전력 손실 최소화 중요 →

전력 소비의 핵심 부품 “고효율 파워반도체”

하이브리드, 전기자동차 수요 증가 →

저전력·친환경·고성능 파워반도체 비중 증가

사물인터넷, 웨어러블 등 전자기기의 저전력 요구 증가 →

1회 충전 사용시간 증대 요구

주력 산업의 고부가가치화 견인

차세대 시장 선점의 핵심 요소



사업 목표

파워반도체 핵심원천기술 개발 및 상용화 지원을 통한 글로벌 파워반도체 산업 경쟁력 확보

중점 추진사항

- 실리콘 및 차세대 화합물 기반 파워반도체 소자·모듈 개발
- IoT용 저전력 고효율 Power IC 개발
- 6인치 기반 SiC 파워반도체 일괄공정 구축 및 서비스 지원

사업 기간

2017년 7월 ~ 2023년 12월 (총 78개월)

총 사업비

836.53억원

구분 국비 지방비 민자 합계
기술개발분야 424 - 140 564
기반구축분야 119.22 153.31 - 272.53
합계 543.22 153.31 140 836.53


추진 체계

기반구축분야

(플랫폼)

* 기관명 클릭시 해당기관에서 제공한 제품정보로 이동합니다.

기술개발분야

(R&D)

SiC

MOSFET

GaN

IGBT

Power IC



SiC 연구플랫폼 소개

SiC 연구플랫폼 :국내 최초 6인치 기반 SiC 소자 제조 일괄공정서비스 지원 FAB

위치

부산테크노파크 장전(부산대 內) 및 장안(기장군)단지 내

보유장비 수

총 28종 (前공정장비 18종, 後공정장비 10종)
※ 이용신청 : https://www.btp.or.kr
장비명 제조국 제조사 모델명 장비명 제조국 제조사 모델명
고온이온
주입기		 일본 ULVAC IH-860PSIC 마이크로
스코프		 일본 OLYMPUS DSX510-ASU
고온어닐링기 일본 TYK Ailesic-2000 면저항측정기 대한민국 AiT CMT-SR2000N
웻스테이션
(세정)		 대한민국 ULTECH Aquachem-C 퍼니스(D-Poly) 대한민국 P&T PF-D63
퍼니스(RTP) 미국 AG Associates HEAT8108 퍼니스(SiO2) 일본 TYK Ailesic-1500
건식식각기 일본 SAMCO RIE-800iPC 에셔 미국 Gasonic PEP3510
스텝퍼 일본 Nikon NSR-2005i10C 플라즈마박막증착기 미국 AMAT P5000
스퍼터 미국 AMAT Centura5200 후면스퍼터 대한민국 LAT LIS-150
건식식각기
(금속용)		 미국 Lam Research TCP9600SE 두께측정기 독일 FRT MICROPROF-200
입자계수기 미국 KLA Tencor Candela CS10 시디샘 일본 HITACHI S-8820
전계방출주시현미경 체코 TESCAN S8000 후면그라인더 일본 DISCO DGP-8761
웻스테이션
(신화막)		 대한민국 ULTECH Aquachem-D 테스터 미국 Keysight B1505
웻스테이션
(유기물)		 대한민국 ULTECH Aquachem-E 프로브 미국 Cascade Tesla2000
트랙 대한민국 SVS MSX-1000 웻스테이션
(금속)		 대한민국 ULTECH Aquachem-H
박막두께
측정기		 대한민국 Ellipso Tech Elli-SEU 레이저어닐 일본 SUMITOMO SWA-20US-M